Advanced Energy CESAR 133等离子发生器适配半导体应用
高精度、多频段、工业级射频（RF）等离子发生器，专为半导体、平板显示、太阳能及精密镀膜等高要求工艺设计，提供300W~5kW 功率与 2/4/13.56/27.12/40.68MHz 多频段选择。
产品优势：
稳定可靠：采用成熟 E 类放大器架构，适应高失配负载与恶劣等离子环境
精准控制：功率调节精度高（≤±1%），支持脉冲模式（1~30kHz）
灵活通用：全系列覆盖主流频段与功率，200/400VAC双电压输入
易用智能：大 LCD 液晶面板、中文 / 英文菜单、多路通讯与模拟接口
安全保护：过流、过压、过温、驻波比（VSWR）全保护，CE/SEMI 认证
典型应用：
半导体：PECVD/ICP/RIE 刻蚀、薄膜沉积、等离子清洗
显示面板：LCD/OLED 镀膜、刻蚀、表面处理
太阳能：PECVD、硅片清洗、扩散工艺
工业镀膜：装饰 / 功能涂层、光学镀膜、玻璃镀膜
型号列表:
CESAR 136
CESAR 1310
CESAR 1320
CESAR 1330
CESAR 1350
CESAR 133
CESAR 026
CESAR 046
CESAR 276
CESAR 406
Advanced Energy CESAR 133等离子发生器适配半导体应用