德国SUSS LABSPIN HP8TT台式光刻热板
HP8TT 是德国SUSS台式精密光刻热板，最大处理 200mm 圆形晶圆与 6 英寸方形基板，高精度分段温控系统搭配可编程多段烘烤程序，可与 LabSpin 8TT 匀胶机组装成套台式光刻工艺平台，用于半导体、MEMS、光电子实验室光刻胶烘烤工艺开发。
基板适配规格：
圆形晶圆：2~200mm（8 英寸）标准硅片、化合物衬底；
方形基板：最大 6×6 英寸玻璃、陶瓷、光学基片；
标配三点升降顶针结构，可夹持薄片、碎片、翘曲样品。
技术参数：
基板兼容性最大200mm（8英寸）圆形晶圆，兼容6英寸方形基板
温控范围室温至 250℃
温控精度例如 ±0.5℃ @ 120℃
工艺编程可存储多达 200个配方，每个配方最多 40个步骤
核心设计三点式升降顶针（方便取放晶圆）、独立触控屏、可选氮气吹扫模块
型号列表：
| 余新星 QQ：399047640 手机：18510938576 电话：010-64714988-193 传真：010-84786709-667 邮件：sales93@handelsen.cn |  |  |
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