SUSS Labspin 8TT台式旋涂机
一、 核心优势：专为灵活与精度而生
Labspin 8TT并非一台普通的旋涂机，它专为处理最大200毫米圆形或150毫米方形的晶圆与基板而设计，完美覆盖了从科研探索到小规模试生产的广泛需求。其设计的核心理念在于用户友好与工艺可扩展性。
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灵活工艺，随心而控：设备支持可调的滴液位置，让您能根据材料特性优化涂布起始点。独特的卡盘振荡功能，专为“水坑式”显影工艺设计，能有效减少显影时间，提升效率。此外，它还集成了边珠去除功能，确保旋涂后基片边缘的薄膜均匀、无厚边，这对于许多光学和电子应用至关重要。
杜绝污染，快速切换：创新的可拆卸式工艺碗设计，让在不同化学试剂或工艺步骤间的转换变得异常迅速和简单，彻底避免了不同材料间的交叉污染，保障了实验结果的纯净与可靠。
直观操作，安全可靠：正面面板集成的废液瓶不仅方便取放，更能让您随时监控废液液位。直连式中空轴电机搭配透明的真空管路液体分离器，使维护状态一目了然。内置的真空监控和盖板开启安全互锁功能，为操作人员提供了坚实的安全保障。
二、 卓越性能：稳定成就每一次完美涂布
在硬性指标上，Labspin 8TT同样毫不妥协，为可重复的高质量结果奠定了基础。
精准转速控制：转速范围覆盖50至8，000 rpm，在200毫米卡盘上控制精度可达±1 rpm，确保从低速铺展到高速甩薄都能精确复现。
迅猛加速能力：高达4，000 rpm/秒的加速度，能满足对动态过程有严格要求的先进工艺。
强大的工艺管理：设备最多可存储200个工艺配方，每个配方支持多达40个步骤，轻松应对复杂多样的实验流程与批量生产任务。
紧凑坚固的设计：整机集成于不锈钢台式机柜中，尺寸精巧（350 x 446 x 430 mm），节省宝贵的实验室空间，同时确保了设备的耐用性。
三、 全面配置：为您的专属需求量身打造
标准系统已包含从旋涂模块、控制单元到安全玻璃碗盖和聚丙烯工艺碗的全套组件，开箱即用，并附含技术文档光盘及EC符合性声明。
为了满足多样化的样品需求，Labspin 8TT提供了一系列可选的真空卡盘：
标准晶圆卡盘：适配R2（2英寸）、R3、R4、R6直至R8（200毫米）等多种标准尺寸晶圆，全部采用POM材质，符合SEMI标准，确保稳固且无污染的夹持。
特殊尺寸卡盘：为不规则或特殊尺寸基板提供了无定心销的卡盘选项（真空区域直径3mm、16mm、30mm），极大地拓展了设备应用范围。