德国ADL离子源电源09Z011 GG 12 Beam
一、 公司及产品概述
公司信息：ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH，位于德国达姆施塔特（Darmstadt），自1992年起运营。
产品用途：为离子束和等离子体工艺技术提供电源，广泛应用于蚀刻、溅射等领域，特别是在微电子、光学和传感器等创新应用中。
核心特点：所有电源单元均提供模拟或数字接口，并可根据客户需求定制其他输出电压或输出功率。
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二、 产品系列及主要型号
手册列出了多个电源型号，按功能主要分为以下几类：
加速器电源 (Accelerator)：
GG 03：输出功率300W，输出电压-1000V，输出电流300mA。
GG 03.1：输出功率30W，输出电压-1000V，输出电流30mA。
GG 08：输出功率800W，输出电压-1000V，输出电流800mA。
束流电源 (Beam)：
GG 12：输出功率1.2kW，输出电压+2000V，输出电流1A。
GG 12.1：输出功率200W，输出电压+2000V，输出电流100mA。
中和器电源 (Neutralizer)：
GIP 10：输出功率990W，输出电压33V，输出电流30A。
GIP 10.1：输出功率25W，输出电压25V，输出电流1A。
放电电源 (Discharge)：
GDI 09：输出功率900W，输出电压150V（对地浮动2kV），输出电流6A。
阴极电源 (Cathode)：
GC 10：输出功率1kW，输出电压35V（对地浮动2kV），输出电流30A。
三、 通用技术规格
显示与控制：大多数型号配备3½位数码管，用于显示电压和电流。操作模式为电流或电压控制（部分型号支持功率控制），可通过前面板手动设置或通过控制接口外部设置。
设定点与精度：设定范围为标称值的0-100%，输出电压或电流的输出精度为标称值的±1%。
电源输入：标准为230V AC（±10%），50/60Hz，带保护接地（PE）。功耗根据型号不同，从100VA到1500VA不等。
冷却与机械：
采用内置风扇进行风冷，环境工作温度为40°C。
运行噪音低于70 dB(A)。
标准机箱尺寸：宽度218mm（半19英寸），高度132.5mm（3HU），深度560mm。
重量（不含包装）：11kg。
四、 控制接口选项
手册提供了多种可选的控制接口模块，包括：
AS4：模拟接口，用于U、I或P调节。
AS4F：快速数据传输的模拟接口。
AS6：模拟接口，用于U、I、P限制设定。
Profibus DP
EtherCAT®
RS232/485
ADL09Z001
ADL09Z002
ADL09Z005
ADL09Z011
ADL09Z012
ADL09Z021
ADL09Z022
ADL09Z031
ADL09Z051
德国ADL离子源电源09Z011 GG 12 Beam
