德国ADL GX150/800 直流溅射电源

 
 
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德国ADL GX150/800 直流溅射电源

GX150属于德国ADL GX50‑GX150系列大功率直流溅射电源,额定输出功率15kW,专为磁控溅射镀膜工艺开发,具备高速灭弧能力,可满功率连续运行,支持多台并联扩容,机架式紧凑型结构,半导体、光学、装饰镀膜行业广泛使用。


产品特点:

1. 高速自动灭弧:最高每秒 40000 次电弧清除,抑制靶材打弧,镀膜工艺稳定,降低靶材损伤adl-gmbh.c。

2. 全功率不间断运行:无占空比限制,可长期满负荷工作;支持多机并联实现更大输出功率adl-gmbh.c。

3. 悬浮无电位输出,适配各类溅射阴极。

4. 双冷却设计:主水冷,辅助风冷;水冷承担绝大部分热负荷,风冷仅做辅助散热adl-gmbh.c。

5. 机箱规格:½‑19 英寸,3U(3HE)机架插入式结构,便于机柜集成安装。

6. 控制模式:电压、电流、功率三模式闭环调节;支持外部接口给定设定值;可选数字显示屏或状态 LED 指示灯版本adl-gmbh.c。

7. 可选件:电磁阀控制、各类通讯接口板、不同规格水冷接头、重载输出插头。

应用场景


- 磁控溅射镀膜设备:光学镀膜、装饰镀层、硬质涂层、半导体、平板显示、光伏镀膜

- 直流溅射阴极、反应溅射工艺

- 需要大直流功率、抗电弧干扰的真空工艺电源


型号列表:

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