瑞士VAT 10836-CE01真空闸阀常用于半导体制造
产品特点：
1.VATLOCK 技术：关闭位置机械锁定，确保可靠密封，同时避免密封板摩擦，延长寿命。
2.无润滑剂设计：杜绝颗粒污染风险，适合洁净真空环境。
3.高烘烤能力：坚固结构支持 250 °C 烘烤，满足 UHV 系统除气需求。
4.波纹管密封：轴封采用金属波纹管，确保长期免维护运行。
典型应用：
同步辐射、粒子加速器、科研超高真空腔体、半导体 UHV 工艺设备、表面分析仪器、薄膜沉积超高真空系统。
VAT 10836-CE01 技术参数：
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产品系列：Series 10.8 UHV Gate Valve（超高真空闸阀）
公称通径：DN 63 至 DN 320 (2½" – 12")
压力范围：1 × 10⁻¹⁰ mbar 至 1.6 bar (abs)
阀体材质：不锈钢 (AISI 304 / 316L)
密封技术：VATLOCK 专利技术（无摩擦机械锁定）
驱动方式：手动（曲柄手柄）、气动（双作用/三位置）
法兰接口：ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS（可选客户定制）
漏率：阀体 < 5 × 10⁻¹⁰ mbar·l/s；阀座 < 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
耐温上限：250 °C（手动驱动/阀体开启状态）
使用寿命：50,000 次循环（至首次维护）
型号列表：
VAT 10836-CE01
VAT 10836-CE08
VAT 10836-CE14
VAT 10836-CE24
VAT 10836-CE34
VAT 10836-CE44
VAT 10836-CE48
VAT 10840-CE01
VAT 10840-CE08
VAT 10840-CE14
VAT 10840-CE24
VAT 10840-CE34
VAT 10840-CE44
瑞士VAT 10836-CE01真空闸阀常用于半导体制造
