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MLase MLI-HP-500KrF 是德国 MLase AG 推出的高功率、248nm 深紫外 KrF 准分子激光器，主打工业级高可靠、长寿命与高能量稳定性，面向精密微加工与科研应用。
一、型号与定位
型号含义：MLI = 系列；HP = High Power（高功率）；500 = 最大重复频率 500 Hz；KrF = 氪氟准分子，波长 248 nm。
定位：紧凑型、高可靠、长寿命工业准分子激光源，适合连续生产与严苛科研场景。
二、核心技术参数（KrF 248 nm）
表格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 工作波长 | 248 nm（深紫外 DUV） |
| 最大重复频率 | 500 Hz |
| 稳定脉冲能量 | 10 mJ（典型） |
| 稳定平均功率 | 5 W（10 mJ × 500 Hz） |
| 能量稳定性 | ≤ 2%（σ） |
| 脉冲宽度 | 约 8–25 ns（可调） |
| 光束尺寸（FWHM） | 6 mm × 3 mm（垂直 × 水平） |
| 光束模式 | 平顶均匀分布（Corona 预电离） |
| 激光管技术 | 全金属密封，寿命 > 20 亿脉冲 |
| 供电 | 单相市电，易集成 |
| 冷却 | 标配风冷；可选 LC 水冷版本 |
| 外形尺寸 | 约 650 × 315 × 445 mm（不含突出部件） |
| 重量 | 约 75 kg |
三、关键技术特点
超长寿命与低维护
全金属密封激光管，脉冲寿命超 20 亿次，大幅降低气体更换与维护频率。
固态电路设计，无老化、即开即用，适合 100% 占空比连续运行。
高光束质量与稳定性
电晕预电离（Corona Preionization），实现均匀平顶光束，加工一致性优异。
内置能量监测与闭环稳定，能量波动 ≤ 2%，保障工艺重复性。
